Реестр российской промышленной продукции, ПП РФ № 719 ·
Установка индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объемного спрея
Производитель: АО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ», Воронежская область
ОКПД2 28.99.20.290ТН ВЭД 8486 20Изготовлена по ЩЦМ 3.240.637 ТУ
Реестровая запись
Запись реестра российской промышленной продукции: номер, сроки, выписка.
| Реестровый номер | |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Действует до | 23.07.2029 |
| Включена в реестр | 24.07.2026 |
| Выписка | Выписка из реестра российской промышленной продукции (ГИСП, PDF с подписью) |
Классификация
Коды продукции по общероссийским классификаторам.
| ОКПД2 | 28.99.20.290 |
|---|---|
| ТН ВЭД | 8486 20 |
| Изготовлена по | ЩЦМ 3.240.637 ТУ |
Производитель
Реквизиты предприятия по записи в перечне.
АО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ»
| ИНН | 3661004634 |
|---|---|
| ОГРН | 1023601530402 |
| Регион | Воронежская область |
| Юридический адрес | 394033, ВОРОНЕЖСКАЯ ОБЛАСТЬ, ВОРОНЕЖ Г., ПР-КТ ЛЕНИНСКИЙ, Д.160А |
Основание записи
Документ, по которому продукцию внесли в реестр.
| Основание | СТ-1 № 6010004028 от 24.07.2026 |
|---|---|
| Департамент | Департамент станкостроения и тяжелого машиностроения |
Что это за изделие
Описание и характеристики из каталога ГИСП. Для нацрежима действуют статус записи и официальная выписка, а не эта витрина.
| Регион производства | Воронежская область |
|---|---|
| Единица измерения | Штука |
Установка предназначена для индивидуальной химической обработки кремниевых пластин диаметром 100, 150 мм с выполнением всех технологических операций по двухсторонней химической обработке пластин методом погружения/объемного спрея в одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых реагентов в соответствии с технологическим процессом обработки. Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки. Процесс погружения проходит в автоматическом режиме. Выгрузка пластин осуществляется в ручном режиме и укладывается в транспортную кассету. Установка выполняет следующие операции: химическая обработка пластин с использованием растворов и деионизованной воды; промывка деионизованной водой; сушка пластины методом центрифугирования; удаление отработанных растворов из ванны через специальные каналы и сливы; фильтрацию растворов; термическую подготовку химических растворов.
Характеристики
| Дискретность задания вращения ротора, не более | 10 |
|---|---|
| Максимальный угол поворота ротора технологического блока обработки | 180 |
| Количество используемых химических растворов | 1 |
| Высота | 1655 |
| Ширина | 626 |
| Длина | 1052 |
| Высота | 709 |
| Ширина | 283 |
| Длина | 400 |
| Высота | 2250 |
| Ширина | 952 |
| Длина | 1220 |
| Масса блока силового ЩЦМ 3.557.438, не более | 44 |
| Масса блока подачи реагентов и нагрева азота ЩЦМ3.248.033, не более | 92 |
| Масса модуля индивидуальной химической обработки пластин методом погружения/объемного спрея ЩЦМ 3.240.638, не более | 270 |
Стандартизация
| Нормативный документ | ЩЦМ 3.240.637 ТУ |
|---|
Карточка собрана сервисом «ТоварминПРО» по выгрузке перечня ПП РФ № 719. Она помогает проверить статус и реквизиты, но не заменяет официальную выписку Минпромторга.