Реестр российской промышленной продукции, ПП РФ № 719 ·

Установки индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея

Установки индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея

В реестре

Производитель: АО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ», Воронежская область

ОКПД2 28.99.20.290ТН ВЭД 8486 20Изготовлена по ЩЦМ 3.249.072 ТУ

Реестровая запись

Запись реестра российской промышленной продукции: номер, сроки, выписка.

Реестровый номер
СтатусДействует
Действует до26.10.2029
Включена в реестр27.10.2026
ВыпискаВыписка из реестра российской промышленной продукции (ГИСП, PDF с подписью)

Классификация

Коды продукции по общероссийским классификаторам.

ОКПД228.99.20.290
ТН ВЭД8486 20
Изготовлена поЩЦМ 3.249.072 ТУ

Производитель

Реквизиты предприятия по записи в перечне.

АО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ»

ИНН3661004634
ОГРН1023601530402
РегионВоронежская область
Юридический адрес394033, ВОРОНЕЖСКАЯ ОБЛАСТЬ, ВОРОНЕЖ Г., ПР-КТ ЛЕНИНСКИЙ, Д.160А

Основание записи

Документ, по которому продукцию внесли в реестр.

ОснованиеСТ-1 № 6010004050 от 27.10.2026
ДепартаментДепартамент станкостроения и тяжелого машиностроения

Что это за изделие

Описание и характеристики из каталога ГИСП. Для нацрежима действуют статус записи и официальная выписка, а не эта витрина.

Регион производстваВоронежская область
Единица измеренияШтука

Установка предназначена для односторонней химической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм и 150 мм с выполнением всех технологических операций на одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых растворов в соответствии с технологическим процессом обработки. Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки. Процесс обработки проходит в автоматическом режиме. Выгрузка пластины осуществляется в ручном режиме. Установка выполняет следующие операции: последовательная подача растворов и деионизованной воды на вращающуюся пластину; промывка пластин с использованием деионизованной воды; сушка пластин методом центрифугирования; удаление отработанных растворов из ванны через специальные каналы и сливы. Модуль подачи и подготовки обеспечивает: подачу химических реактивов; фильтрацию растворов; термическую подготовку растворов.

Характеристики

Диапазон задания количества используемых реагентов2
Диапазон задания времени обработки1
Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги, не более10
Высота2250
Ширина950
Длина1220
Высота2000
Ширина1200
Длина1800
Масса модуля подачи и подготовки технологических сред ЩЦМ 3.248.032, не более165
Масса установки (без модуля подачи и подготовки технологических сред), не более270

Стандартизация

Нормативный документЩЦМ 3.249.072 ТУ

Карточка в каталоге ГИСП

Карточка собрана сервисом «ТоварминПРО» по выгрузке перечня ПП РФ № 719. Она помогает проверить статус и реквизиты, но не заменяет официальную выписку Минпромторга.