Реестр российской промышленной продукции, ПП РФ № 719 ·
PLU (опытно-промышленная установка загрузки/разгрузки пластин с паллет для реакторов систем плазмохимического (PECVD) находящимися в отдалении друг от друга с одновременной загрузкой/выгрузкой полуфабрикатов в/из реакторов)
Производитель: ООО «НТЦ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В ЭНЕРГЕТИКЕ», Санкт-Петербург
ОКПД2 28.22.18.110ТН ВЭД 8486 40 000 9Изготовлена по РСВП.080.00.00.00 ТУ
Реестровая запись
Запись реестра российской промышленной продукции: номер, сроки, выписка.
| Реестровый номер | |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Действует до | 13.05.2028 |
| Включена в реестр | 14.05.2025 |
| Выписка | Выписка из реестра российской промышленной продукции (ГИСП, PDF с подписью) |
Классификация
Коды продукции по общероссийским классификаторам.
| ОКПД2 | 28.22.18.110 — Машины погрузочно-разгрузочные автоматические для транспортирования, загрузки и складирования полупроводниковых пластин, кассет полупроводниковых пластин и других материалов для полупроводниковых приборов |
|---|---|
| ТН ВЭД | 8486 40 000 9 |
| Изготовлена по | РСВП.080.00.00.00 ТУ |
Производитель
Реквизиты предприятия по записи в перечне.
ООО «НТЦ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В ЭНЕРГЕТИКЕ»
| ИНН | 7802732442 |
|---|---|
| ОГРН | 1107847394489 |
| Регион | Санкт-Петербург |
| Юридический адрес | 194064, Г.САНКТ-ПЕТЕРБУРГ, УЛ. ПОЛИТЕХНИЧЕСКАЯ, Д.28 |
Основание записи
Документ, по которому продукцию внесли в реестр.
| Основание | СТ-1 № 5037005012 от 13.05.2025 |
|---|---|
| Департамент | Департамент станкостроения и тяжелого машиностроения |
Что это за изделие
Описание и характеристики из каталога ГИСП. Для нацрежима действуют статус записи и официальная выписка, а не эта витрина.
| Регион производства | Санкт-Петербург |
|---|---|
| Единица измерения | Штука |
Установка представляет собой систему автоматизированной укладки/снятия кремниевых пластин на паллеты для проведения процесса осаждения тонких пленок методом плазмохимического осаждения из газовой фазы.
Характеристики
| Типоразмер кремниевых пластин | М6 |
|---|---|
| Длина, мм | 166.00 +- 0.25 |
| Ширина, мм | 166.00 +- 0.25 |
| Толщина, мкм | 120 - 180 |
| Диагональ, мм | 223.00 +- 0.25 |
| Источник электрической энергии: тип сети заземления | TN-S |
| Источник электрической энергии: количество фаз | 3 |
| Источник электрической энергии: напряжение, В | 400 +- 40 |
| Источник электрической энергии: частота, Гц | 50.0 +- 0.5 |
| Система сжатого воздуха: допустимый перепад давления | 0.02 |
| Система сжатого воздуха: расход сжатого воздуха, л/мин | 7000 |
| Система подачи азота: рабочее давление в системе подачи азота | 0.5 |
| Система подачи азота: расход сжатого воздуха, л/мин | 14000 |
| Длина | 15470 |
| Ширина | 10760 |
| Высота | 3270 |
| Масса | 8200 |
| Производительность, пластин в час | 3000 |
Стандартизация
| Нормативный документ | РСВП.080.00.00.00 ТУ |
|---|
Карточка собрана сервисом «ТоварминПРО» по выгрузке перечня ПП РФ № 719. Она помогает проверить статус и реквизиты, но не заменяет официальную выписку Минпромторга.