Реестр российской промышленной продукции, ПП РФ № 719 ·
PLU PECVD (опытно-промышленная установка, автоматизирующая процесс укладки, загрузки, выгрузки, переворота 2 реакторами ПХО)
Производитель: ООО «НТЦ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В ЭНЕРГЕТИКЕ», Санкт-Петербург
ОКПД2 28.22.18.110ТН ВЭД 8486 40 000 9Изготовлена по РСВП.103.00.00.00 ТУ
Реестровая запись
Запись реестра российской промышленной продукции: номер, сроки, выписка.
| Реестровый номер | |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Действует до | 03.02.2028 |
| Включена в реестр | 04.02.2025 |
| Выписка | Выписка из реестра российской промышленной продукции (ГИСП, PDF с подписью) |
Классификация
Коды продукции по общероссийским классификаторам.
| ОКПД2 | 28.22.18.110 — Машины погрузочно-разгрузочные автоматические для транспортирования, загрузки и складирования полупроводниковых пластин, кассет полупроводниковых пластин и других материалов для полупроводниковых приборов |
|---|---|
| ТН ВЭД | 8486 40 000 9 |
| Изготовлена по | РСВП.103.00.00.00 ТУ |
Производитель
Реквизиты предприятия по записи в перечне.
ООО «НТЦ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ В ЭНЕРГЕТИКЕ»
| ИНН | 7802732442 |
|---|---|
| ОГРН | 1107847394489 |
| Регион | Санкт-Петербург |
| Юридический адрес | 194064, Г.САНКТ-ПЕТЕРБУРГ, УЛ. ПОЛИТЕХНИЧЕСКАЯ, Д.28 |
Основание записи
Документ, по которому продукцию внесли в реестр.
| Основание | СТ-1 № 5037005003 от 31.01.2025 |
|---|---|
| Департамент | Департамент станкостроения и тяжелого машиностроения |
Что это за изделие
Описание и характеристики из каталога ГИСП. Для нацрежима действуют статус записи и официальная выписка, а не эта витрина.
| Регион производства | Санкт-Петербург |
|---|---|
| Единица измерения | Штука |
Установка предназначена для автоматизации процесса разгрузки пластин из кассет, их укладки в палеты, передачи палет в реактор PECVD, приема палет из реактора, снятия пластин с палет, переворота пластин, их загрузки в кассеты
Характеристики
| Производительность, пластин/час | 3300 |
|---|---|
| Длина х ширина пластин, мм | 182 х 182 |
| Толщина пластин, мкм | 120 - 180 |
| Масса модуля снятия пластин 2 | 2600 |
| Длина х ширина х высота модуля снятия пластин 2, мм | 9080 х 3980 х 2730 |
| Масса модуля выкладки пластин 2 | 2000 |
| Длина х ширина х высота модуля выкладки пластин 2, мм | 5060 х 4430 х 2730 |
| Длина х ширина х высота модуля выкладки пластин 1, мм | 5060 х 4430 х 2730 |
| Длина х ширина х высота модуля снятия пластин 1 | 7430 х 4430 х 2730 |
| Масса модуля снятия пластин 1 | 2400 |
| Масса модуля выкладки пластин 1 | 2000 |
| Расход сжатого воздуха, л/мин | 6000 (пиковое) |
| Рабочее давление в системе сжатого воздуха | 0.6 |
| Потребляемая мощность, не более | 70 |
| Частота, Гц | 50 +/- 0.5 |
| Напряжение, В | 400 +/- 40 |
| Количество фаз | 3 |
| Тип сети заземления | TN-S |
Стандартизация
| Нормативный документ | РСВП.103.00.00.00 ТУ |
|---|
Карточка собрана сервисом «ТоварминПРО» по выгрузке перечня ПП РФ № 719. Она помогает проверить статус и реквизиты, но не заменяет официальную выписку Минпромторга.